Substrat MgF2
Descripció
MgF2 s'utilitza com a lent, prisma i finestra per a longituds d'ona de 110 nm a 7,5 μm.És el material més adequat com a finestra per al làser ArF Excimer, per la seva bona transmissió a 193 nm.També és eficaç com a polarització òptica a la regió ultraviolada.
Propietats
| Densitat (g/cm).3） | 3.18 |
| Punt de fusió (℃) | 1255 |
| Conductivitat tèrmica | 0,3 Wm-1K-1 a 300K |
| Expansió tèrmica | 13,7 x 10-6 /℃ eix c paral·lel 8,9 x 10-6 /℃ eix C perpendicular |
| Duresa Knoop | 415 amb penetrador de 100 g (kg/mm2) |
| Capacitat calorífica específica | 1003 J/(kg.k) |
| Constant dielèctrica | 1,87 a 1MHz eix c paral·lel 1,45 a 1MHz perpendicular de l'eix C |
| Mòdul Youngs (E) | 138,5 GPa |
| Mòdul de cisalla (G) | 54,66 GPa |
| Mòdul a granel (K) | 101,32 GPa |
| Coeficient elàstic | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Límit elàstic aparent | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Ratio de Poisson | 0,276 |
Definició del substrat MgF2
El substrat MgF2 es refereix a un substrat fet de material cristal·lí de fluorur de magnesi (MgF2).El MgF2 és un compost inorgànic format per elements de magnesi (Mg) i fluor (F).
Els substrats de MgF2 tenen diverses propietats notables que els fan populars en una varietat d'aplicacions, especialment en els camps de l'òptica i la deposició de pel·lícules primes:
1. Alta transparència: MgF2 té una excel·lent transparència a les regions ultraviolada (UV), visible i infraroja (IR) de l'espectre electromagnètic.Té un ampli rang de transmissió des de l'ultraviolat a uns 115 nm fins a l'infrarojo a uns 7.500 nm.
2. Baix índex de refracció: MgF2 té un índex de refracció relativament baix, fet que el converteix en un material ideal per a recobriments i òptiques AR, ja que minimitza els reflexos no desitjats i millora la transmissió de la llum.
3. Baixa absorció: MgF2 presenta una baixa absorció a les regions espectrals ultraviolada i visible.Aquesta propietat el fa útil en aplicacions que requereixen una gran claredat òptica, com ara lents, prismes i finestres per a feixos ultraviolats o visibles.
4. Estabilitat química: MgF2 és químicament estable, resistent a una àmplia gamma de productes químics i manté les seves propietats òptiques i físiques sota una àmplia gamma de condicions ambientals.
5. Estabilitat tèrmica: MgF2 té un alt punt de fusió i pot suportar altes temperatures de treball sense degradació significativa.
Els substrats de MgF2 s'utilitzen habitualment en recobriments òptics, processos de deposició de pel·lícules primes i finestres o lents òptiques en diversos dispositius i sistemes.També poden servir com a capes amortidors o plantilles per al creixement d'altres pel·lícules primes, com ara materials semiconductors o recobriments metàl·lics.
Aquests substrats es produeixen normalment mitjançant tècniques com la deposició de vapor o mètodes físics de transport de vapor, on el material MgF2 es diposita sobre un material de substrat adequat o es fa créixer com un sol cristall.Segons els requisits de l'aplicació, els substrats poden tenir forma d'hòsties, plaques o formes personalitzades.
